Устройство для получения наночастиц при аддитивном изготовлении объемных микроразмерных структур

Описание
Изобретение относится к аддитивной 3D-технологии производства объемных микроразмерных структур из наночастиц. Устройство для получения наночастиц при аддитивном изготовлении объемных микроразмерных структур содержит сообщенный с регулируемым источником 1 транспортного газа блок 2 получения потока аэрозоля, блок 3 оптимизации наночастиц по размеру и форме, содержащий устройство для нагрева потока транспортного газа с наночастицами. Выход 4 блока 2 получения потока аэрозоля сообщен с блоком 2 получения потока аэрозоля с наночастицами, а выход 5 - с печатающей головкой 6. Блок 3 оптимизации наночастиц выполнен в виде рабочей камеры с входным 7 и выходным 8 оптически прозрачными окнами. Устройство нагрева потока транспортного газа с наночастицами выполнено в виде лазерно-оптического устройства 9 с регулятором мощности 10 и установлено перед входным окном 7 блока оптимизации. Над и под оптически прозрачными окнами 7, 8 блока 3 оптимизации наночастиц установлены измерители 11, 12 мощности лазерного излучения, а на входе 13 и выходе 14 потока транспортного газа с наночастицами блока оптимизации - анализаторы 15, 16 размеров наночастиц. Обеспечивается упрощение получения оптимального размера наночастиц в автоматическом режиме для их спекания на подложке. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Дата
2019-12-23
Патентообладатели
"федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования ""Московский физико-технический институт "" "
Авторы
Иванов Виктор Владимирович , Ефимов Алексей Анатольевич , Хабаров Кирилл Михайлович , Тужилин Дмитрий Николаевич , Сапрыкин Дмитрий Леонидович
Номер заявки
RU 02722961 C1 20200605
Предметная область
Технологические процессы
Ссылка на ФИПС