ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ И РАЗНОСТИ ДАВЛЕНИЙ

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для одновременного измерения двух параметров - давления и разности давлений, например, в расходомерах перепада давления. Емкостный датчик давления и разности давлений содержит корпус, силовую мембрану, элемент передачи силы, закрепленный в средней части силовой мембраны, измерительную мембрану, плоскость которой расположена под углом в пределах от 70 до 110o к плоскости силовой мембраны и смещена относительно центральной части силовой мембраны, причем средняя часть измерительной мембраны соединена с элементом передачи силы, емкостный преобразователь с подвижными и неподвижными электродами, причем подвижные электроды расположены по разные стороны от оси, проходящей через среднюю часть измерительной мембраны и параллельно плоскости силовой мембраны связаны с поверхностью измерительной мембраны и попарно с соответствующими неподвижными электродами образуют два конденсатора, емкости которых характеризуют измеряемые параметры. Такое выполнение обеспечивает возможность одновременного измерения двух параметров с использованием единого упругого элемента и единых измерительных цепей электронной схемы датчика. 9 з. п.ф-лы, 5 ил.